观测窗甚至能感受到微微的震动。
紧接著,所有人的目光都被样机的心臟部位吸引过去。
那里,一个被多层防护和复杂管道包围的中心区域,一道光骤然亮起!
那不是常见的炽白或淡蓝光,它呈现出一种深邃而纯粹的极紫外色彩。
介於幽紫与深蓝之间,带著一种非自然的冰冷质感。
它的亮度並不刺眼,却异常凝聚,如同实质的光束被牢牢约束在特定的路径之中。
“波长稳定……13.4纳米!误差低於0.01!”
在钢铁的轰鸣声中,陈进一大声呼喊,声音因为激动而劈叉。
“能量输出稳定!转化效率31.7%!天啊!”
旁边一个年轻的技术员看著仪錶盘,失声惊呼。
31.7%!
这个数字如同惊雷在控制室里炸开!
所有人都知道这意味著什么。
意味著这台简陋样机的光源系统,在效率上已经实现了对全世界所有光源系统碾压式的超越!
它彻底粉碎了现有的物理和工程极限!
那束深邃的极紫外光持续稳定地输出著,如同永不疲倦的心臟,为整个光刻系统提供著澎湃而纯净的画笔!
“开始曝光测试!”
严正行没有沉浸在光源启动成功的狂喜中,他的目標更远。
指令下达。
样机內部,精密的光学组件开始工作。
那束凝聚的极紫外光被引导、分束、投射。
承载著电路图案的掩模板被精准定位。
下方,一片预先处理好的硅晶圆静静地等待著命运的刻画。
时间在紧张到近乎凝固的气氛中流逝。
只有机器的低鸣、风扇的嗡响和仪器数据刷新的滴答声。
所有人屏气凝神。
终於。
“曝光完成!传送至显影蚀刻单元!”
陈进一的声音嘶哑。
又是一段漫长的等待。
每一步都牵动著所有人的心弦。
魏天华双手紧紧抓著控制台的栏杆,额间已冒出了冷汗,眼睛却一眨不眨地盯著处理单元的出口。
当那片经过最终处理的硅晶圆被机械臂小心翼翼地取出,送入高倍电子显微镜下。
控制室里只剩下粗重的呼吸声。
巨大的屏幕上,高倍显微图像被清晰地投射出来。
线条!
无比清晰、锐利、间距极小的电路线条!
图像旁边,测量软体自动標註出关键数据:
线宽:7.2纳米!
套刻精度:1.8纳米!
“成了……真的成了……”
魏天华喃喃自语,声音哽咽。
他缓缓鬆开抓著栏杆的手,身体微微摇晃了一下。
这位在半导体行业摸爬滚打了一辈子,看尽了白眼和封锁的老总,此刻再也控制不住。
滚烫的泪水衝出眼眶,顺著他布满皱纹的脸颊滑落。
他没有擦拭,只是仰头看著屏幕上那清晰无比的7.2纳米线条,肩膀无声地耸动著。
技术壁垒此刻在这清晰的线条面前,被击得粉碎!
四十年追赶的屈辱,无数次被卡脖子的绝望,无数个日夜的殫精竭虑……
所有的情绪都化作了这两行滚烫的热泪。
严正行挺直了腰板,那浓重的疲惫被瞬间驱散。
他摘下护目镜,用力揉了揉布满血丝的眼睛。
再戴上时,镜片后的目光锐利如鹰,充满了无与伦比的自豪和坚定。
他紧抿著嘴唇,没有说话,但那紧绷的下頜和微微颤抖的拳头,诉说著他內心翻江倒海般的激动
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