陈延森刚应付完黄任勋和张维力,星源科技光学研究实验室的首席科学家林南便打来电话同步道:“老板,您上次提出的磁约束放电激发方式,被我们搞出来了!”
看似平静的语气,却透着难以言表的激动!
这意味着,星源科技可以绕过主流的激光激发等离子体光源方式(LPP),获得一种全新的EUV光源激发方式。
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