要知道,光刻机的工作台和对准系统都需要高精度机床加工,半导体的本质就是精密制造,没有高精密加工技术,就无法制造出高质量的掩膜台,进而影响半导体技术的发展。
星源科技为了突破掩膜台的制造技术,顺手造了一台五轴联动数控机床?
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