sp;陈延森笑了笑,并未拒绝,大大方方地应下。
紧接着,行至一处巨大的观景窗前,可以俯瞰整个生产区域。
姚传强适时同步道:“这片是晶圆制造的核心动线,从左到右依次是扩散区、光刻区、刻蚀区和离子注入区,每个区域都配备了双重冗余系统,哪怕单一设备出现故障,备用设备能在30秒内无缝衔接,确保生产不中断。”
“陈总,是我心急了,应该等星源科技投产后再来才对。”
孟远志望着空荡荡的场区,以及正在平整地面、安装窗户的工作人员,轻声说道。
“孟先生来得正是时候,正因为还未投产,才能看到生产基地最真实的一面。”
陈延森指着光刻区的方向:“比如那十二个C45混凝土基座,每个都深入岩层二十米,内部铺设了三层阻尼减震系统。
为了达到EUV光刻厂的防震标准,我们在基座里灌注了特种树脂,单这一个环节就耗时两个月。
当振动频率在1赫兹以下时,振动位移限值能控制在0.1纳米;在大于100赫兹时,也能将振动位移限值限定在1纳米之内。”
孟远志顺着指引细看,果然发现基座表面有着不同寻常的光泽。
这时姚传强适时递上平板电脑,调出施工时的三维剖面图。
“这是华科协会力学所专门设计的悬浮式基础结构,每个基座都像漂浮在弹簧上,能隔绝地面振动和声波干扰。”
陈延森接过平板,不紧不慢地解释道。
孟远志俯身盯着基座接缝处的参数,虽然不太明白,但有陈延森在旁边,迅速就理解了这项数据背后的意义。
“湾积电金陵制造厂的防震标准,不及星源科技的十分之一,因为破晓 A220的精度要求比现有的EUV光刻机还要高一个数量级。”
陈延森轻描淡写地说道。
他的潜台词是,破晓 A220的性能、生产效率,绝对属于世界一流水平。
“破晓 A220什么时候能投入使用?”孟远志追问道。
“最快年底。”陈延森想了想说道。
光刻机在正式使用前,第一要与生产线磨合,第二要解决光刻胶和显影液的适配问题,自然是没法一蹴而就。
“一期生产区的产能是多少?”孟远志又问。
“预计300万片12英寸晶圆,三期工程合计1400万片。”
陈延森回答道。
闻言,孟远志呼吸一滞,他知道,一旦星源科技生产基地落成,必将成为国内规格最大、技术最先进的芯片制造厂。
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